クリーンルーム関連で用いられる空気清浄度とは、一定範囲内における粉塵量の定義です。
空気中に浮遊することができる小さな埃などの粒子や微生物の数量は、設定されているクラスに応じて下の表のように決められています。 |
| 粉塵個数（1m3内） |
クリーンルームの規格・クラス |
| 粒径 0.1μm |
粒径 0.5μm |
ISO 14664 -1 |
JIS B 9920 |
Fed 209D |
10 |
|
Class 1 |
クラス 1 |
|
| 100 |
4 |
Class 2 |
クラス 2 |
|
| 350 |
10 |
|
|
|
| 1,000 |
35 |
Class 3 |
クラス 3 |
クラス 1 |
| 3,500 |
100 |
|
|
|
| 10,000 |
352 |
Class 4 |
クラス 4 |
クラス 10 |
| 35,000 |
1,000 |
|
|
|
| 100,000 |
3,520 |
Class 5 |
クラス 5 |
クラス 100 |
|
10,000 |
|
|
|
| 1,000,000 |
35,200 |
Class 6 |
クラス 6 |
クラス 1000 |
|
100,000 |
|
|
|
|
352,000 |
Class 7 |
クラス 7 |
クラス 10000 |
|
1,000,000 |
|
|
|
|
3,520,000 |
Class 8 |
クラス 8 |
クラス 100000 |
|
10,000,000 |
|
|
|
|
35,200,000 |
Class 9 |
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