ウエハー用ケースや導電性の容器に、クリーンルーム用の導電性クッション材や挿間紙・合紙を挟んで梱包します。

タニムラ株式会社

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クリーンルーム用
ウエハー保管・梱包シリーズ
ケース・容器・クッション・合紙・挿間紙
購入方法
クリーンルームでウエハーを安全に保管・搬送する方法

ウエハーを安全に保管・搬送するには、最低限以下の製品が必要です。
●ウエハー用ケース・梱包容器
●ウエハーの間に挟む合紙・挿間紙
●底面・上面に敷くクッション材
一般的な資材は、紙粉や異物発生の原因になるため使いません。
専用品として設計された 以下のクリーンルーム対応品を使用します。
良質な製品はトラブルを抑えますが、粗悪な製品では対応できません。
安定した作業を継続するには、高品質な製品を選定する必要があります。

ウエハー保管用ケース・挿間合紙・クッション材
ウエハー用 無塵紙ケース MK-WBP
ウエハー用ケース・ボックス・クリーンルーム用紙箱容器
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●クリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品です。
●破れ、擦り、揉みを行っても、紙粉がほとんど出ません。
●RoHSやREACHなどの有害物質規制に該当しません。
●燃えるゴミとして廃棄できます。
●クリーンルーム内で安心して使用できます。
●5インチのみ

導電性樹脂ケース MK-WBR
静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器8インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。
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●静電気の帯電を防止する「導電性樹脂」を採用しています。
●蓋を閉めることで、完全密封が可能です。(6"を除く)
●蓋を閉じて約10度回すとロックします。(8"のみ)
●勘合形状なので、積み重ねても安定します。
●表面抵抗値は108[Ω]以下と優れており、静電気の帯電を強力に防止。
●5インチから8インチまで

導電性ウエハー用クッション TN-CWC
ウエハーに敷くクリーンルーム用の導電性のクッション材です。静電気対策ができ、異物が出ないスポンジフォームです。
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導電性クリーンフォームを加工した製品です。
●一般のクッション材とは違い、気泡内に粉塵の残渣がありません。
●ピンク色の帯電防止とは違い、添加剤がブリード(析出)しません。
●表面抵抗値は107Ωと優れており、半永久的に帯電を防止します。
●低VOC(揮発性有機化合物)の製品で、フォギングも低減します。
●5インチから12インチまで

ウエハー用クリーン合紙・挿間紙 MK-WSF・WSE
クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。無塵紙(クリーンペーパー)製。
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クリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品です。
●ウエハの間に挟んで使います。
●破れ・擦り・揉みを行っても、紙粉がほとんど出ません。
●クリーンルームにて加工後、真空パックで出荷致します。
●凹凸エンボスを施したタイプは、クッション性と剥離性が良好です。
●5インチから12インチまで