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静電気帯電防止
クリーン導電性ウエハー用ケース・樹脂容器MK-WBR
クリーンルーム用ウエハー収納搬送用ボックス |
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| 特 徴 |
■カーボンを樹脂に練り込み、安定した導電性能。
■表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
■蓋を閉めることで完全密封が可能です。（6"汎用以外）
■約10度回してフタを閉じ、ロックが可能。（8"のみ）
■凸と凹が重なり、安定した段積みが可能。 |
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 クリーンルーム対応 導電性ウエハーケース（帯電防止） |
クリーンルーム内では静電気対策をしていない一般製品は、ホコリや粉塵を吸着するため持ち込みません。
すなわちクリーンルームで使用する樹脂製品は、静電気対策品を使用します。
本製品は導電性PP樹脂を使用しており、表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
また密封性に優れているため、蓋を閉めることで完全密閉し、外気から遮断が可能（6"汎用を除く）なので、クリーンな状態を保持したままウエハーを搬送する事ができます。
強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。 |
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| 詳細説明および製品写真 |
| ５インチ |
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■５インチ変換アダプター WBR-AT
【仕様】
・内径： φ128㎜×12㎜ （外形：176×176×H24㎜）
・重量： 170ｇ （フタ込み）
【特徴】
・６”スリムケースに装着することで５インチウエハーに対応。
・簡単に装着できます。（６”スリムケース専用） |
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| ６インチ |
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■６インチスリムケース WBR-6S
【仕様】
・内径： φ152㎜×12㎜ （外形：176×176×H24㎜）
・重量： 150ｇ
【特徴】
・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
・５”変換アダプターを使用して５インチウエハーに対応。
・テープなどにより完全密閉が可能です。
・安定した段積みが可能です。 |
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■６インチ汎用ケース WBR-6
【仕様】
・内径： φ152㎜×30㎜ （外形：φ165×H40㎜）
・重量： 160ｇ
【特徴】
・軽量な円筒型ケースです。
・容器のリブ（壁）に開口部があり、ウエハーの出し入れが可能。
・安定した段積みが可能です。 |
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| ８インチ |
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■８インチ用ケース（ロック機構付き） WBR-8
【仕様】
・内径： φ201㎜×21㎜ （外形：226×226×H43㎜）
・重量： 400ｇ
【特徴】
・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
・対角方向に「取り出し口」が付いたタイプもご用意できます。
・蓋は約10度回転させて閉じ、ロック機構で不用意に外れません。
・テープ等により完全密閉が可能です。
・安定した段積みが可能です。 |
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| 共通の仕様 |
| 材質 |
導電性PP樹脂 |
| 色 |
導電ブラック |
| サイズ （インチ径） |
5" ・ 6" ・ 8" |
| 表面電気抵抗値 |
108 [Ω] 以下 |
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